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CHEMIPOL
ELASTOMER O-RING은 (주)씰테크 반도체 사업부에 의하여
반도체 생산시 비가동시간(Loss Time)을 감소시키기 위하여 개발되었으며, Plasma에
대한 저항성을 개선하였습니다.
CHEMIPOL ELASTOMER는 과불화 탄성체를 원료로 사용하고 있으며, 정밀성을 요구하는
Seal 및 Packing재료로 사용되고 있습니다.
CHEMIPOL ELASTOMER는 탄소, 불소 및 산소 원자로 구성된 화학구조를 갖고 있으며,
종래의 불소 고무로는 사용할 수 없었던 Keton, Ester,
Amine, 유기산 등은 물론 모든 화학약품과 용제에 대하여 탁월한 저항성을 발휘하는
불활성 재료입니다.
종래에 사용했던 불소고무와 실리콘 등의 Seal재는 극악환경인 반도체 제조공정에서 여러종류의
화학용액과 반응가스로 인한 이물질 발생 및 작업시간의 단축 등의 문제점이 보고되고 있습니다.
그러나 CHEMIPOL ELASTOMER는 Seal재로서 장기간 사용할 수 있으며, 충분하고
만족한 결과를 얻을 수 있습니다.
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